Er mwyn cyflawni lled llinell uwch-ddirwy sefydlog a rheolaeth bylchiad o ± 0.2mil, mae angen sefydlu system rheoli dolen gaeedig o'r broses gyfan o ddewis deunydd, technoleg graidd, cywirdeb offer, a rheolaeth amgylcheddol. Mae'r canlynol yn llwybrau technegol ymarferol:
Rheoli cywirdeb ffynhonnell deunydd
Dewis swbstrad: Mae'n well gan swbstradau ceramig neu swbstradau polymer wedi'u haddasu gyda chyfernodau ehangu thermol hynod o isel, a rheolir yr anffurfiad thermol trwy gydol y prosesu o fewn 0.1mil er mwyn osgoi ymestyn / crebachu llinell a achosir gan amrywiadau tymheredd.
Sgrinio deunydd swyddogaethol: Rheoli'n llym gludedd ffotoresist a chysondeb sensitifrwydd ffotosensitif. Mae maint gronynnau past dargludol yn cael ei reoli ar lefel y micromedr i sicrhau trwch cotio unffurf a dim burrs ar ymylon llinellau printiedig.
Mecanwaith storio a defnyddio: Mae'r amgylchedd storio deunydd yn dymheredd a lleithder cyson, ac mae'r rheol cyntaf i mewn, cyntaf allan yn cael ei gweithredu er mwyn osgoi gwyriad maint a achosir gan amsugno lleithder photoresist a diraddio perfformiad slyri.
Uwchraddio proses lithograffeg graidd
Mabwysiadu technoleg delweddu uniongyrchol laser LDI: dileu'n llwyr y problemau dadffurfiad a gwyriad aliniad o amlygiad ffilm traddodiadol, gwella cywirdeb lleoli amlygiad i o fewn ± 0.01mm (tua ± 0.4mil), sef y rhagofyniad sylfaenol ar gyfer cyflawni rheolaeth ± 0.2mil.
Rheolaeth dolen gaeedig paramedr datguddiad manwl gywir: Sefydlogi egni datguddiad o fewn yr ystod o 120-150mJ / cm ², addasu'r paramedrau ar gyfer llinellau mân iawn 2-3mil yn ddeinamig, ymestyn amser datguddio 15% wrth leihau egni datguddiad 5-8%, gan osgoi ehangu lled llinell a achosir gan galedu ymylon llinell yn ormodol.
Cynhesu'r swbstrad cyn dod i gysylltiad: Sefydlogi tymheredd y swbstrad ar werth gosod y broses ymlaen llaw i ddileu'n llwyr ymyrraeth ehangiad thermol ac anffurfiad crebachu mewn prosesau datguddio dilynol.
Optimeiddio Cywirdeb Proses ysgythru
Mabwysiadu cynllun ysgythru manwl cyfansawdd: blaenoriaethu'r cyfuniad o broses "ysgythriad laser + ysgythriad plasma sych", bron i ddileu problem ysgythru ochr ysgythriad gwlyb traddodiadol, a chloi cywirdeb lled y llinell yn uniongyrchol i ± 0.003mm (tua ± 0.12mil), gan fodloni'r gofyniad goddefgarwch o ± 0.2mil.
Rheoli dolen gaeedig o baramedrau ysgythru: Mae crynodiad ïonau copr yn yr hydoddiant ysgythru copr clorid asidig yn cael ei reoli'n llym ar 18-22g / L, mae'r tymheredd yn sefydlog ar 35-40 gradd, ac mae'r pwysedd chwistrellu yn cynyddu 10% o'i gymharu â phrosesau confensiynol i sicrhau ysgythriad unffurf o waliau ochr y llinellau heb ysgythru lleol / copr gweddilliol.
Iawndal cyn lled llinell: Yn seiliedig ar y ffactor ysgythru mesuredig (Yn fwy na neu'n hafal i 5:1), cedwir swm iawndal lled llinell o tua 0.6miliwn ymlaen llaw yn ystod y cyfnod dylunio i wrthbwyso'r golled lled llinell fach yn ystod y broses ysgythru.
Cefnogaeth system offer a phrofi
System lleoli symudiadau manwl uchel: mabwysiadu pensaernïaeth adborth llawn modur llinol + pren mesur gratio, cyflawni cywiriad lleoli symudiad lefel nanomedr, a rheoli gwall mudiant mecanyddol yr offer o fewn 0.1mil.
Mecanwaith canfod amser real ar-lein: Defnyddio calipers laser a systemau canfod optegol chwyddo uchel i archwilio lled llinell a bylchau pob bwrdd ar unwaith ar ôl prosesu. Os yw'r gwyriad yn fwy na'r trothwy, bydd rhybudd yn cael ei sbarduno a bydd cynhyrchiad yn cael ei atal er mwyn osgoi diffygion swp.
Optimeiddio anhyblygedd offer: Mae rhannau symudol allweddol yn cael eu gwneud o ddeunyddiau anhyblygedd uchel, sy'n ynysu ymyrraeth dirgryniad allanol trwy gydol y broses gyfan ac yn atal gwyriad lleoliad a achosir gan ddirgryniad.
Rheolaeth ddimensiwn llawn o amgylchedd hynod lân
Gweithdy tymheredd a lleithder cyson: Rheoli'r amrywiad tymheredd yn yr ardal brosesu o fewn ± 0.5 gradd, sefydlogi'r lleithder ar 40% -60%, a dileu dadffurfiad thermol offer ac amrywiad perfformiad ffotoresist a achosir gan newidiadau tymheredd a lleithder amgylcheddol.
Rheolaeth glendid 100 lefel: Mae'r gweithdy proses craidd yn cwrdd â'r safon glendid 100 lefel, yn hidlo gronynnau llwch yn yr aer yn llwyr, ac yn osgoi llwch rhag glynu wrth wyneb y swbstrad, gan achosi diffygion llinell ac allwthiadau, a niweidio cysondeb lled llinell a bylchau.